特許等 / Patents etc.

特許

中村芳明、五十川雅之、上田智広、吉川純、酒井朗、細野秀雄、”熱電材料及びその製造方法並びにそれを用いた熱電変換モジュール”、特願2012-124940 、ＰＣＴ出願番号：ＰＣＴ／ＪＰ２０１３／０６３５８０

中村芳明、市川昌和、正田明子　”GeSn半導体の製造方法”、特願2006－122795,特開2007-294778、特許第4989101号

中村芳明、市川昌和、”半導体デバイスの製造方法”、特願2004-79028 (優先日　2004/3/18)、特願2004-218457、特開2005-303249、特許第4508761号.